Stromversorgung für Elektronenstrahlverdampfungsprozesse

Die VAPTEC-Serie ist speziell für Elektronenstrahl-Verdampfungsprozesse konzipiert. Diese Serie enthält

• das Hochspannungsnetzteil NHCR

• den notwendigen Heiztransformator NDRG

• und die Ablenkstufe RNTR

Hochspannungs-Netzteil NHCR

Das neu entwickelte NHCR ist ein Schaltnetzteil mit modernster stromgespeister Wandlertechnologie einschließlich einer digitalen Regelung, eines konfigurierbares Arc-Management und unserer patentierten Arc-Strombegrenzung. Wird ein Arc erkannt, so begrenzt die patentierte Arc-Strombegrenzung die Ausgangsstromspitzen auf maximal das Fünffache des Nennstroms.

Der Gerät ist erhältlich mit 2, 3, 5, 10 und 20 kW. Bei den Modellen mit 2 und 3 kW ist der  Heiztransformator mit im Gehäuse integriert. Beide Geräte liefern eine Ausgangsspannung von 8 kV.

Die Modelle mit 5, 10 und 20 kW haben eine Ausgangsspannung von 10 kV.

Der integrierte Heiztransformator der 2- und 3-kW-Versionen liefert einen Heizstrom von 26 bzw. 35 A bei einer Ausgangsspannung von 8 V DC.

Ionenversorgung NDOR

Da bei den meisten Verdampfungsprozessen eine Ionenquelle zur Beschleunigung der Elektronen eingesetzt wird, wurde für die VAPTEC-Serie die notwendige Ionenversorgung NDOR entwickelt. Sie umfasst die Anodenstromversorgung, die Glühdrahtversorgung und Messungen für den Neutralisationsstrom.

Ablenkstufe RNTR

Sie ist ein Leistungsverstärker zur Ansteuerung induktiver Lasten. Typischerweise arbeitet sie als Stromquelle. Dieser Leistungsverstärker wird zur Ansteuerung der Spulenvorrichtung des horizontalen Ablenkkreises des Elektronenstrahls zum Zweck der gleichmäßigen Materialverdampfung verwendet.
In der Regel muss der Strahl bei diesen Anwendungen sowohl in X- als auch in Y-Richtung horizontal abgelenkt werden. Daher verfügt die Ablenkstufe über zwei unabhängige Kanäle.