Stromversorgung für Hochspannungs-Glimm Prozesse
Die Stromversorgungen der GLOWTEC-Serie sind Schaltnetzteile, die mit modernster stromgespeister Wandlertechnologie arbeiten. Durch den Einsatz dieser Technologie verhält sich der Ausgang des Netzgerätes wie eine Stromquelle, wodurch sich die Stromversorgungen für den Einsatz in Glimmentladung und Hochspannungsplasmaprozessen optimal eignen. Strom, Spannung und Leistung erreichen durch die digitale Regelung eine hervorragende Präzision.
Ein weiterer Pluspunkt ist das integrierte, konfigurierbare Arc-Management. Für einfache DC-Glimmentladungsprozesse ist das GLOWTEC DC die richtige Wahl. Es begrenzt den Ausgangsstrom durch einen Widerstand. Für anspruchsvollere DC-Prozesse steht eine patentierte und optional integrierte Arc-Begrenzung zur Verfügung. Sie begrenzt den Ausgangsstrom auf maximal das Fünffache des Nennstroms während eines Arcs.
Zwei weitere Geräte komplettieren die GLOWTEC Reihe: das GLOWTEC DCp und das GLOWTEC AC
Das GLOWTEC DCp liefert eine unipolare gepulste Rechteckspannung bis zu 5 kV (8 kV auf Anfrage) bei einer Ausgangsfrequenz von 76 kHz.
Das GLOWTEC AC liefert eine bipolar gepulste Ausgangsspannung bis 5 kV (8 kV auf Anfrage) bei einer Ausgangsfrequenz von 38,5 kHz. Das Tastverhältnis kann in einem weiten Bereich von 1 bis 11,8 μsec eingestellt werden.
Technische Daten
Eingang | |
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Eingangsspannung | 3 x 400 V AC +/- 10 % |
Frequenz | 50 / 60 Hz +/- 5 % |
Ausgang | |
Ausgangsspannung Vav | stufenlose, stabile Einstellung von 0 bis Nennspannung / -strom / -leistung |
2 kV bis 60 kV | |
Ausgangsleistung | 2 kW bis 15 kW (21 kW) (größere Leistungen können durch Parallelschaltung erzielt werden) |
Ausgangsnennfrequenz DC | reiner DC |
Ausgangsnennfrequenz DCp | unipolar gepulsed 76 kHz |
Ausgangsnennfrequenz AC | bipolar gepulsed 38.5 kHz |
Schnittstellen | |
Analoge Sollwerte | 0 - 10 V Spannung / Strom / Leistung direkt proportional |
Analoge Überwachung | 0 - 10 V Spannung / Strom / Leistung direkt proportional |
Digitale Eingänge / Ausgänge | HV freigeben / HV ok / error |
RS232 | SPS Modus oder Terminal Modus |
Feldbus | Profibus / Canbus / Ethercad als Option |
Anwendungen
Vorab Reinigung
- Lineare Ionenquellen
- Hochspannungs Plasma wie PECVD
- Glimmentladung
- Mikrowellen Prozesse
- Ionenstrahl-Sputtern
- Corona Behandlung