GLOWTEC

Für Hochspannungs-Glimm-Prozesse mit: 

 

DC Spannung,

unipolar gepulster Spannung

oder bipolar gepulster Spannung

 

am Ausgang

Art.-Nr. : GLOWTEC***

Stromversorgung für Hochspannungs-Glimm Prozesse

Die Stromversorgungen der GLOWTEC-Serie sind Schaltnetzteile, die mit modernster stromgespeister Wandlertechnologie arbeiten. Durch den Einsatz dieser Technologie verhält sich der Ausgang des Netzgerätes wie eine Stromquelle, wodurch sich die Stromversorgungen für den Einsatz in Glimmentladung und Hochspannungsplasmaprozessen optimal eignen. Strom, Spannung und Leistung erreichen durch die digitale Regelung eine hervorragende Präzision.

Ein weiterer Pluspunkt ist das integrierte, konfigurierbare Arc-Management. Für einfache DC-Glimmentladungsprozesse ist das GLOWTEC DC die richtige Wahl. Es begrenzt den Ausgangsstrom durch einen Widerstand. Für anspruchsvollere DC-Prozesse steht eine patentierte und optional integrierte Arc-Begrenzung zur Verfügung. Sie begrenzt den Ausgangsstrom auf maximal das Fünffache des Nennstroms während eines Arcs.

 

Zwei weitere Geräte komplettieren die GLOWTEC Reihe: das GLOWTEC DCp und das GLOWTEC AC
Das GLOWTEC DCp liefert eine unipolare gepulste Rechteckspannung bis zu 5 kV (8 kV auf Anfrage) bei einer Ausgangsfrequenz von 76 kHz. 
Das GLOWTEC AC liefert eine bipolar gepulste Ausgangsspannung bis 5 kV (8 kV auf Anfrage) bei einer Ausgangsfrequenz von 38,5 kHz. Das Tastverhältnis kann in einem weiten Bereich von 1 bis 11,8 μsec eingestellt werden.

Technische Daten

Eingang  
Eingangsspannung 3 x 400 V AC +/- 10 %
Frequenz 50 / 60 Hz +/- 5 %
Ausgang  
Ausgangsspannung Vav stufenlose, stabile Einstellung von 0 bis Nennspannung / -strom / -leistung
  2 kV bis 60 kV
Ausgangsleistung 2 kW bis 15 kW (21 kW) (größere Leistungen können durch Parallelschaltung erzielt werden)
Ausgangsnennfrequenz DC reiner DC
Ausgangsnennfrequenz DCp unipolar gepulsed 76 kHz
Ausgangsnennfrequenz AC bipolar gepulsed 38.5 kHz
Schnittstellen  
Analoge Sollwerte 0 - 10 V Spannung / Strom / Leistung direkt proportional
Analoge Überwachung 0 - 10 V Spannung / Strom / Leistung direkt proportional
Digitale Eingänge / Ausgänge HV freigeben / HV ok / error
RS232 SPS Modus oder Terminal Modus
Feldbus Profibus / Canbus / Ethercad als Option

Anwendungen

Vorab Reinigung

  • Lineare Ionenquellen
  • Hochspannungs Plasma wie PECVD
  • Glimmentladung
  • Mikrowellen Prozesse
  • Ionenstrahl-Sputtern
  • Corona Behandlung