PLASMATEC Mp

optimiert für defektfreie Prozesse

für modernste Dünnschichttechnologien
kompakte Bauweise
wassergekühlt

interne Stromquellen Kennlinie
für niedrigen Stromüberschlag bei einem Arc
extrem geringe intern gespeicherte Energie

Art.-Nr. : PLASMATEC Mp***

Das Flexibelste der PLASMATEC Reihe

Das PLASMA Mp überzeugt durch seine Flexibität. Es bietet mehrere Pulsformen, einen verbesserten DC, unipolaren oder bipolaren Puls Ausgangsstrom / -spannung. Die PLASMA Mp Stromversorgungen wurden speziell für Plasmaprozesse bis 800 V entwickelt. Im Bereich von 400 V bis 800 V steht die volle Ausgangsleistung zur Verfügung.

Im DC Modus reduziert der verbesserte DC Ausgangsstrom / -spannung die Arc Tendenz im Vergleich zu Standard DC. 

Im unipolaren Pulsbetrieb beträgt die Ausgangsfrequenz 76 kHz. Die Pulsdauer kann gewählt werden von 1 bis 11 μsec. Dies führt zu einem weiten Tastverhältnis von 7,6 bis 85 %.

Im bipolaren Pulsbetrieb beträgt die Ausgangsfrequenz 38 khz. Die Impulsdauer kann von 1 bis 11 μsec variiert werden, was zu einem weiten Tastverhältnis von 7,6 bis 85 % führt. Positive und negative Pulse haben die gleiche Ausgangsspannung. Ihre Anzahl ist von 1 bis 255 einstellbar. 

Die PLASMA Mp Geräte sind mit 3, 5 oder 10 kW erhältlich. Im Parallelbetrieb sind 100 kW mit bis zu 10 Geräten möglich.


Wie die anderen PLASMATEC Stromversorgungen verfügt der PLASMATEC Mp über eine hohe Leistungsdichte, eine extrem geringe gespeicherte Ausgangsenergie und ein ausgeklügeltes, flexibel einstellbares Arc-Management. Seine hohe Robustheit ist es ideal geeignet für Anwendungen in der Industrie oder in der Forschung.

 

Unsere PLASMATEC Mp Reihe

Artikelnummer NDCR1306F01001
Eingang  
Eingangsspannung 3 x 400 V AC +/- 10 %
Nennfrequenz 50 / 60 Hz +/- 5 %
Max. Eingangsstrom 10 A
Ausgang  
Ausgangsnennspannung [Vav] 400 – 800 V
Frequenz der Ausgangsspannung 76.923 kHz
Ausgangsnennleistung 3 kW
Ausgangsnennstrom [Aav] 7,5 – 3,75 A
Zündspannung [Vig] 1200 … 1400 V (abhängig von der Netzeingangsspannung)
Anlaufzeit der Zündspannung < 1 μsec / kV
Arc Erkennung < 1 μsec
Passive Arc Energie << 3 mJ
Artikelnummer NDCR1015F01001
Eingang  
Eingangsspannung 3 x 400 V AC +/- 10 %
Nennfrequenz 50 / 60 Hz +/- 5 %
Max. Eingangsstrom 12 A
Ausgang  
Ausgangsnennspannung [Vav] 400 – 800 V
Frequenz der Ausgangsspannung 76.923 kHz
Ausgangsnennleistung 5 kW
Ausgangsnennstrom [Aav] 12,5 – 6,25 A
Zündspannung [Vig] 1200 … 1400 V (abhängig von der Netzeingangsspannung)
Anlaufzeit der Zündspannung < 1 μsec / kV
Arc Erkennung < 1 μsec
Passive Arc Energie << 3 mJ
Artikelnummer NDCR1017F01001
Eingang  
Eingangsspannung 3 x 400 V AC +/- 10 %
Nennfrequenz 50 / 60 Hz +/- 5 %
Max. Eingangsstrom 20 A
Ausgang  
Ausgangsnennspannung [Vav] 400 – 800 V
Frequenz der Ausgangsspannung 76.923 kHz
Ausgangsnennleistung 10 kW
Ausgangsnennstrom [Aav] 25 - 12,5 A
Zündspannung [Vig] 1200 … 1400 V (abhängig von der Netzeingangsspannung)
Anlaufzeit der Zündspannung < 1 μsec / kV
Arc Erkennung < 1 μsec
Passive Arc Energie << 3 mJ

Allgemeine Technische Daten

Parallelschaltfähigkeit bis zu 10 Geräte
Synchronisation bis zu 20 Geräte
Schnittstellen I/O interface / RS232 interface
  weitere Schnittstellen optional möglich
Maße (H x B x T) 133.35 x 482.6 x 600 (725 inklusive Stecker) mm
  3HU x 19” x 600 mm

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Ausgang