ERSTKLASSIGE WAHL FÜR DUAL-MAGNETRON-ANWENDUNGEN

Das PLASMA TEC AC ist eine symmetrische, bipolare, gepulste DC Stromversorgung speziell für PVD und PEVD. Durch die angewandte CFC Technologie wird es zur echten Stromquelle, die die ideale Lösung für Plasmaprozesse darstellt.

Das PLASMATEC AC liefert einen bipolaren Ausgangsstrom mit einer Ausgangsfrequenz von 38,46 kHz. Die Pulsdauer kann von 1 μsec bis 12,7 μsec eingestellt werden. Dies ermöglicht ein sehr weites Tastverhältnis von 7,6 bis 97,7 %. Die digitale Regelung von Strom, Spannung und Leistung sorgt für äußerst präzise Werte. Die interne Stufeneinstellung ermöglicht einen flexiblen, weiten Ausgangsspannungsbereich.

Der PLASMATEC AC ist ideal für Dual-Magnetron Anwendungen.

Unsere PLASMATEC AC Reihe

Artikelnummer	NACR1620F01001
Eingang
Eingangsspannung	3 x 400 V AC +/- 10 %
Nennfrequenz	50 / 60 Hz +/- 5 %
Max. Eingangsstrom	10 A
Ausgang
einstellbare Ausgangsspannung	0 – 800 V
Nennausgangsspannung (bei max. Leistung) [Vav]	400 - 800 V
Frequenz der Ausgangsspannung	38.46 kHz
einstellbare Pulszeit = Tp	1 – 12.2 μsec
Ausgangsnennleistung	5 kW
Ausgangsnennstrom [Aav]	12,5 - 6,25 A
Zündspannung	1400 V
Anlaufzeit der Zündspannung	< 1 μsec / kV
Arc Erkennung	< 1 μsec
Passive Arc Energie	<< 3 mJ

Artikelnummer	NACR1621F01001
Eingang
Eingangsspannung	3 x 400 V AC +/- 10 %
Nennfrequenz	50 / 60 Hz +/- 5 %
Max. Eingangsstrom	20 A
Ausgang
einstellbare Ausgangsspannung	0 – 800 V
Nennausgangsspannung (bei max. Leistung) [Vav]	400 - 800 V
Frequenz der Ausgangsspannung	38.46 kHz
einstellbare Pulszeit = Tp	1 – 12.2 μsec
Ausgangsnennleistung	10 kW
Ausgangsnennstrom [Aav]	25 - 12.5 A
Zündspannung	1400 V
Anlaufzeit der Zündspannung	< 1 μsec / kV
Arc Erkennung	< 1 μsec
Passive Arc Energie	<< 3 mJ

Artikelnummer	NACR1622F01001
Eingang
Eingangsspannung	3 x 400 V AC +/- 10 %
Nennfrequenz	50 / 60 Hz +/- 5 %
Max. Eingangsstrom	32 A
Ausgang
einstellbare Ausgangsspannung	0 – 800 V
Nennausgangsspannung (bei max. Leistung) [Vav]	400 - 800 V
Frequenz der Ausgangsspannung	38.46 kHz
einstellbare Pulszeit = Tp	1 – 12.2 μsec
Ausgangsnennleistung	20 kW
Ausgangsnennstrom [Aav]	50 - 25 A
Zündspannung	1400 V
Anlaufzeit der Zündspannung	< 1 μsec / kV
Arc Erkennung	< 1 μsec
Passive Arc Energie	<< 3 mJ

Artikelnummer	NACR1325F01001
Eingang
Eingangsspannung	3 x 400 V AC +/- 10 %
Nennfrequenz	50 / 60 Hz +/- 5 %
Max. Eingangsstrom	25 A
Ausgang
einstellbare Ausgangsspannung	0 – 2800 V
Nennausgangsspannung (bei max. Leistung) [Vav]	450 - 2800 V
TAP 1	450 – 1150 V
TAP 2	870 – 2200 V
TAP 3	1100 – 2800 V
Frequenz der Ausgangsspannung	38.46 kHz
einstellbare Pulszeit = Tp	1 – 12.7 μsec
Ausgangsnennleistung	12 kW
Ausgangsnennstrom [Aav]	26 - 4,3 A
TAP 1	26 – 10,4 A
TAP 2	13,5 – 5,5 A
TAP 3	10,6 – 4,3 A
Zündspannung [Vig] TAP 1	2550 V
TAP 2	3550 V
TAP 3	4200 V
Anlaufzeit der Zündspannung	< 1 μsec / kV
Arc Erkennung	< 1 μsec
Passive Arc Energie	<< 3 mJ

Artikelnummer	NACR1326F01001
Eingang
Eingangsspannung	3 x 400 V AC +/- 10 %
Nennfrequenz	50 / 60 Hz +/- 5 %
Max. Eingangsstrom	25 A
Ausgang
einstellbare Ausgangsspannung	0 – 1800 V
Nennausgangsspannung (bei max. Leistung) [Vav]	360 - 1800 V
TAP 1	360 - 920 V
TAP 2	550 - 1300 V
TAP 3	750 - 1800 V
Frequenz der Ausgangsspannung	38.46 kHz
einstellbare Pulszeit = Tp	1 – 12.7 μsec
Ausgangsnennleistung	12 kW
Ausgangsnennstrom [Aav]	32,5 - 6,5 A
TAP 1	32,5 - 12,7 A
TAP 2	21,3 - 9,0 A
TAP 3	15,6 - 6,5 A
Zündspannung [Vig] TAP 1	1350 V
TAP 2	1800 V
TAP 3	2700 V
Anlaufzeit der Zündspannung	< 1 μsec / kV
Arc Erkennung	< 1 μsec
Passive arc energy	<< 3 mJ

Artikelnummer	NACR1135F01001
Eingang
Eingangsspannung	3 x 400 V AC +/- 10 %
Nennfrequenz	50 / 60 Hz +/- 5 %
Max. Eingangsstrom	30 A
Ausgang
einstellbare Ausgangsspannung	0 – 2000 V
Nennausgangsspannung (bei max. Leistung) [Vav]	650 - 2000 V
TAP 1	650 - 1000 V
TAP 2	950 - 1400 V
TAP 3	1300 - 2000 V
Frequenz der Ausgangsspannung	38.46 kHz
einstellbare Pulszeit = Tp	1 – 12.7 μsec
Ausgangsnennleistung	15 kW
Ausgangsnennstrom [Aav]	22,5 - 7,3 A
TAP 1	22,5 - 14,6 A
TAP 2	15,4 - 10,4 A
TAP 3	11,25 - 7,3 A
Zündspannung [Vig] TAP 1	1250 V
TAP 2	1780 V
TAP 3	2540 V
Anlaufzeit der Zündspannung	< 1 μsec / kV
Arc Erkennung	< 1 μsec
Passive arc energy	<< 3 mJ

Allgemeine Technische Daten

Parallelschaltfähigkeit	bis zu 2 Geräte
Synchronisation	bis zu 2 Geräte
Schnittstellen	I/O interface / RS232 interface
	weitere Schnittstellen optional möglich
Maße (H x B x T)	133.35 x 482.6 x 600 (725 inklusive Stecker) mm
	3HU x 19” x 600 mm

Das PLASMATEC AC 0k86k2 kann nicht parallel geschaltet oder synchronisiert werden.