PLASMATEC BIAS

optimiert für gepulste Ionenätzung
Bessere Schichtdichte und Haftung
Anpassungsfähig an eine breite Palette von Prozessanforderungen
Wassergekühlt
Mehrere Einheiten kombinierbar für hohe Leistungen
Leistungsstarker DSP-Regler
 

Art.-Nr. : PLASMATEC BIAS***

Für DC, unipolare oder bipolare Pulse

Das PLASMATEC BIAS ist ein Schaltnetzteil mit modernster CFC-Technologie. Diese Stromversorgung wurde speziell für Bias-Anwendungen entwickelt und liefert eine stabile DC, unipolar oder bipolar gepulste Ausgangsspannung von 20 bis zu 1000 V.
Im unipolar gepulsten Modus liefert das Gerät eine Ausgangsfrequenz von 1 bis 30 kHz. Im bipolar gepulsten Modus ist die Ausgangsfrequenz von 1 bis 15 kHz einstellbar. Das Tastverhältnis von 1 bis 95 % der Frequenz kann flexibel über eine Schnittstelle eingestellt werden.
Positive und negative Impulse haben die gleiche Ausgangsspannung, das Tastverhältnis kann jedoch getrennt eingestellt werden.
Das Gerät ist mit 7,5 oder 15 kW erhältlich. Im Parallelbetrieb kann die Leistung erhöht werden.
Die PLASMATEC BIAS Geräte verfügen über ein hochentwickeltes, flexibel einstellbares Arc-Management, eine hohe Leistungsdichte und eine unvergleichliche Robustheit.

 

 

Unsere PLASMATEC BIAS Reihe

Artikelnummer NDCR1726F01002
Eingang  
Eingangsspannung 3 x 400 V AC +/- 10 %
Nennfrequenz 50 / 60 Hz +/- 5 %
Max. Eingangsstrom 34 A
Ausgang  
Ausgangsnennspannung [Vav] 300 – 1000 V DC
Ausgangsnennleistung 7.5 kW
Ausgangsnennstrom [Aav] 25 - 7,5 A
Frequenz der Ausgangsspannung DC
  1 kHz to 30 kHz unipolar pulsed
  1 kHz to 15 kHz unipolar pulsed
Tastverhältnis im gepulsten Betrieb siehe Bild unten
Parallelschaltfähigkeit bis zu 2 Geräte
Schnittstellen (weitere Schnittstellen siehe Optionen) I/O / RS232 Schnittstelle
Maße (H x B x T) 133.35 x 482.6 x 600 (725 inklusive Stecker) mm
  3HU x 19” x 600 mm
Artikelnummer NDCR1726F01002
Eingang  
Eingangsspannung 3 x 400 V AC +/- 10 %
Nennfrequenz 50 / 60 Hz +/- 5 %
Max. Eingangsstrom 34 A
Ausgang  
Ausgangsnennspannung [Vav] 300 – 1000 V DC
Ausgangsnennleistung 15 kW
Ausgangsnennstrom [Aav] 50 - 15 A
Frequenz der Ausgangsspannung DC
  1 kHz to 30 kHz unipolar pulsed
  1 kHz to 15 kHz unipolar pulsed
Tastverhältnis im gepulsten Betrieb siehe Bild unten
Parallelschaltfähigkeit bis zu 2 Geräte
Schnittstellen (weitere Schnittstellen siehe Optionen) I/O / RS232 Schnittstelle
Maße (H x B x T) 133.35 x 482.6 x 600 (725 inklusive Stecker) mm
  3HU x 19” x 600 mm
DC POSITIV oder DC NEGATIV
1 - 6 kHz3 - 99 %21 - 26 kHz3 - 96 %
7 - 13 kHz3 - 98 %27 - 30 kHz3 - 95 %
14 - 20 kHz3 _ 97 %DC nicht gepulst100 %
BIPOLAR
FrequenzTP / pos. PulsRP / neg. Pulspos. + neg. Puls max.
1 - 2 kHz3 - 98 %1 - 96 %99 %
3 - 4 kHz3 - 97 %1 - 95 %98 %
5 - 6 kHz3 - 96 %1 - 94 %97 %
7 - 8 kHz3 - 95 %1 - 93 %96 %
9 - 10 kHz3 - 94 %1 - 92 %95 %
11 - 12 kHz3 - 93 %1 - 91 %94 %
13 - 14 kHz3 - 92 %1 - 90 %93 %
15 kHz3 - 91 %1 - 89 %92 %

 

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